La combinaison dun capteur piézoélectrique et dun capteur Pirani dans le capteur de vide analogique VSR offre une grande précision et une excellente résolution dans les plages de vide grossier et fin. MA4 - signal de sortie 4-20 mA MV - signal de sortie 0-10V Vue densemble du transducteur de vide VSR avec capteur Piezo/Pirani : - Capteur combiné Piezo / Pirani avec plage de mesure étendue 5.0 x 10-5 mbar - Haute précision sur lensemble de la plage de mesure, y compris le vide approximatif - Excellente reproductibilité et fiabilité pour des processus de production stables - Mesure indépendante du type de gaz dans le vide poussé - Temps de réponse rapide (jusquà 18 ms) permettant des cycles dhorloge plus courts - Revêtement métallique intégré pour une protection contre la contamination - Convient pour les applications UHV grâce à la cellule de mesure en acier inoxydable scellée au métal (taux de fuite He <5e-10 mbar l / s) - Stabilité à la surpression jusquà 10 bars - Affichage optique de létat par LED