fr.wedoany.com Rapport : Dans les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs, les micro-vibrations affectent directement la précision d'usinage, la précision d'alignement et la stabilité du rendement. Les capteurs d'accélération de Kistler sont utilisés pour la mesure des vibrations dans ce domaine, afin d'assister la R&D et l'optimisation des équipements. La vibration est essentiellement la réponse dynamique d'une structure soumise à des forces externes, les grandeurs physiques fondamentales incluant le déplacement, la vitesse et l'accélération. L'accélération reflète directement l'excitation vibratoire elle-même. Les micro-vibrations se caractérisent par une fréquence élevée et un faible déplacement, de l'ordre du nanomètre au micromètre. Le déplacement est généralement obtenu par intégration de l'accélération, mais l'erreur d'intégration en basse fréquence est inévitable. Celle-ci peut être réduite par l'intégration dans le domaine fréquentiel, le choix d'une fréquence de coupure basse, le traitement de la tendance et le filtrage passe-bande.
Les capteurs d'accélération présentent, pour la mesure des micro-vibrations, les caractéristiques d'une réponse en fréquence complète, d'une large plage dynamique, d'une installation facile permettant un déploiement multipoint, et de la possibilité de reconstituer l'information vibratoire complète. Comparés aux capteurs de déplacement laser, ils ne nécessitent pas d'alignement optique complexe, peuvent être directement fixés sur la surface des structures critiques, s'adaptent aux espaces exigus et facilitent la mesure synchrone sur trois axes. En ingénierie pratique, il est nécessaire d'introduire la norme d'évaluation vibratoire VC, qui utilise la valeur efficace (RMS) de la vitesse vibratoire comme indicateur et classe les niveaux selon la précision de l'équipement. Le processus de mesure standard comprend : l'acquisition du signal par le capteur d'accélération, le prétraitement, l'intégration dans le domaine fréquentiel pour obtenir la vitesse vibratoire, puis l'analyse FFT et la comparaison avec les courbes de la classe VC correspondante pour l'évaluation.
Les capteurs d'accélération Kistler se distinguent dans la mesure des micro-vibrations par un bruit de fond extrêmement bas et une haute sensibilité, une large réponse en fréquence, une stabilité et une répétabilité élevées, une conception compacte et une chaîne de mesure complète. En pratique d'ingénierie, ils peuvent être utilisés pour la localisation des sources de vibration, l'identification des fréquences de résonance, l'évaluation de la classe VC, la vérification de l'optimisation des équipements et l'amélioration de la stabilité du procédé.
Les paramètres des capteurs d'accélération Kistler montrent qu'ils constituent, grâce à leur précision, leur stabilité et leur adaptabilité technique, une technologie de support clé pour réaliser une surveillance et un contrôle des vibrations de haute précision.
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