fr.wedoany.com Rapport : Huahan Weiye (Chine) a lancé l'équipement de détection AOI après gravure TGV Zeus HS3000, qui utilise une technologie d'imagerie synchrone à trois faces et un algorithme d'IA intelligent, afin de résoudre les difficultés de détection des structures de trous profonds dans le processus de gravure des verres à trous traversants (TGV) à haute densité.
Dans la chaîne industrielle TGV, la gravure est le processus clé qui détermine la géométrie des trous traversants et les performances électriques. La précision de la morphologie des trous traversants et la cohérence de leur position sont directement liées au rendement des processus ultérieurs de galvanoplastie et de liaison. Les solutions de détection planes conventionnelles ne peuvent pas répondre aux exigences de contrôle qualité des structures tridimensionnelles à trous profonds. Les difficultés courantes rencontrées par l'industrie incluent : les angles morts de détection des structures tridimensionnelles ; la difficulté à garantir une précision de mesure nanométrique, les équipements ordinaires étant facilement affectés par la dérive thermique ambiante ; l'efficacité et la stabilité insuffisantes du jugement des défauts, la classification manuelle étant subjective et peu efficace ; et le problème des silos de données entravant l'optimisation des processus.
Pour répondre à ces difficultés, le Zeus HS3000, grâce à sa technologie d'imagerie synchrone à trois faces, peut capturer simultanément les images du haut, du milieu et du bas des trous traversants en une seule exposition. Associé à une capacité d'inspection complète des faces avant et arrière, il élimine les angles morts de détection des structures à trous profonds. L'équipement intègre un algorithme d'IA développé en interne, capable d'extraire et de classer automatiquement les caractéristiques des défauts, avec un taux de précision de détection global d'au moins 99 %. Sa couverture de détection inclut les défauts typiques des trous tels que les trous manquants, les trous non débouchants et les corps étrangers dans les trous, ainsi que les défauts de surface de la plaque tels que les rayures, les salissures, les fissures et les piqûres de gravure. Il prend également en charge les mesures dimensionnelles telles que le diamètre/la circularité des trous en surface, le diamètre/la circularité des trous à mi-épaisseur, la position des trous et la concentricité des trous sur les faces supérieure et inférieure.
En matière de surveillance des processus, l'équipement peut générer des cartes de répartition (Mapping) des tolérances dimensionnelles et géométriques, permettant de surveiller visuellement les fluctuations du processus de gravure et de déclencher des alertes. Sa précision de détection de la position des trous traversants est inférieure à 1 micromètre, ce qui aide la ligne de production à identifier rapidement les problèmes de processus. L'équipement prend également en charge l'interconnexion des données entre les processus, reliant les données de détection au processus de gravure en amont, contribuant ainsi à la construction d'un système de gestion de la qualité en boucle fermée.
Cet équipement est disponible en deux versions : entièrement automatique et semi-automatique. La version entièrement automatique est équipée d'un module EFEM de chargement/déchargement automatique, adapté aux lignes de production automatisées à grand volume pour les panneaux de 510 mm × 515 mm et les plaquettes de verre de 6, 8 et 12 pouces. La version semi-automatique adopte une conception de châssis léger, avec un chargement/déchargement manuel assisté.
Huahan Weiye, face aux difficultés techniques des substrats en verre TGV telles que la transparence, la haute réflectivité et le rapport d'aspect élevé des micro-trous, a développé un système de détection AOI en boucle fermée couvrant l'ensemble des processus : inspection des matières premières, induction laser, gravure chimique, métallisation par PVD/électrolyse et redistribution des couches (RDL).
