La machine de meulage entièrement automatique pour plaquettes de carbure de silicium de 8 pouces de CETC entre en production de masse

fr.wedoany.com Rapport : La première machine de meulage entièrement automatique pour plaquettes de composants en carbure de silicium (SiC), développée de manière indépendante par Beijing CETC Company, filiale de China Electronics Technology Group (ci-après dénommé CETC Equipment), a récemment été livrée avec succès à une entreprise nationale de premier plan dans le domaine des plaquettes, marquant ainsi son entrée en production de masse. À ce jour, l'entreprise a constitué une solution complète de meulage nationale couvrant l'ensemble du processus, des lingots de carbure de silicium aux plaquettes de composants, en passant par les tranches, se positionnant à l'avant-garde du secteur.

Actuellement, l'industrie des semi-conducteurs à large bande interdite entre dans une fenêtre critique d'expansion à grande échelle. L'adoption accélérée des plateformes haute tension 800 V pour les véhicules à énergie nouvelle, la mise à niveau itérative des normes pour le photovoltaïque et le stockage d'énergie, ainsi que la libération concentrée de la demande en alimentations pour le calcul d'IA, se conjuguent pour créer un triple dividende de développement, rendant le marché particulièrement demandeur de composants de puissance en carbure de silicium hautes performances répondant aux exigences des applications automobiles et de calcul.

Dans la fabrication des composants de puissance en carbure de silicium, le processus d'amincissement de la face arrière des plaquettes est l'une des étapes déterminantes pour la résistance thermique, les pertes à l'état passant et le rendement en production de masse des composants. En raison de la dureté élevée et de la difficulté d'usinage du carbure de silicium, l'usinage de la face arrière des plaquettes est sujet aux éclats, aux microfissures, voire à la rupture des plaquettes, ce qui impose des exigences strictes en matière de rigidité de l'équipement d'amincissement, d'amortissement des vibrations de la broche, de contrôle de la forme du plateau porte-substrat et de contrôle en boucle fermée du processus.

Beijing CETC Company, ciblant les points douloureux du secteur, a entrepris le développement d'une machine de meulage entièrement automatique pour plaquettes de composants en carbure de silicium. Selon les informations disponibles, l'équipement adopte une structure à trois axes et quatre postes, intégrant des unités de transfert automatisé et de nettoyage, permettant un flux de traitement entièrement automatique en entrée et sortie sèches, réduisant efficacement le temps de circulation entre les étapes. Grâce à l'adéquation de broches aérodynamiques à haute rigidité, faible vibration et haute puissance, de meules et de paramètres de processus, l'équilibre entre l'efficacité d'usinage et le coût des consommables est atteint. Les essais en production de masse ont démontré qu'une plaquette de carbure de silicium de 8 pouces peut être meulée de manière stable jusqu'à 120 micromètres au minimum, avec une production horaire d'au moins 15 plaquettes, et que l'écart d'épaisseur au sein d'une plaquette après meulage est contrôlé de manière stable à moins de 3 micromètres, répondant pleinement aux exigences de capacité et de consistance pour la production de masse à grande échelle.

Par ailleurs, l'équipement est doté d'une broche aérodynamique de précision à haute rigidité développée en interne, atteignant une précision de mouvement de rotation submicronique, permettant une large fenêtre de processus et répondant aux besoins de divers consommables d'amincissement ; il est également équipé d'un système de détection de charge de haute précision, permettant une surveillance en temps réel du processus et une alerte précoce des risques de rupture de plaquette. Le matériel et les logiciels de l'équipement prennent également en charge les fonctions de correction et d'étalonnage automatiques de la meule.

Il est rapporté que cet équipement constitue une percée majeure pour les équipements nationaux dans l'étape d'amincissement de la face arrière des plaquettes de carbure de silicium de 8 pouces, comblant une lacune dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs à large bande interdite en Chine, et offrant une garantie solide pour la production à grande échelle de composants de puissance en carbure de silicium au niveau national.