fr.wedoany.com Rapport : Le 19 juillet, le groupe Befar a mis en production de l’acide fluorhydrique gazeux de qualité électronique de haute pureté dans le cadre du projet Beikun et a lancé un nouveau produit. Le groupe Befar a réalisé des avancées technologiques dans quatre domaines : le procédé, l’ingénierie, la détection et le remplissage, formant ainsi une boucle fermée allant de la préparation au conditionnement. La pureté de son acide fluorhydrique de haute pureté destiné aux semi-conducteurs atteint le niveau 6N (99,9999 %), se situant au niveau international de pointe.

L’acide fluorhydrique de haute pureté est considéré comme le « sang » de la fabrication des semi-conducteurs, un matériau irremplaçable pour le nettoyage, la gravure et l’entretien des chambres, dont la pureté détermine directement le rendement des tranches de silicium. L’acide fluorhydrique de haute pureté de qualité 6N est indispensable pour les procédés avancés de 28 nanomètres et moins. La Chine en a longtemps dépendu des importations, les entreprises étrangères monopolisant environ 80 % du marché mondial de l’acide fluorhydrique de haute pureté de qualité 6N.

L’acide fluorhydrique de qualité semi-conducteur exige une pureté supérieure à 99,999 % (5N). Passer de 5N à 6N ne nécessite pas seulement une purification supplémentaire, mais un système de purification entièrement nouveau. Selon Liu Teng, directeur général de la division des produits chimiques spéciaux du groupe Befar, la clé pour atteindre la pureté 6N réside dans l’élimination des impuretés mutuellement solubles telles que les traces d’eau, le dioxyde de carbone et les composés organiques oxygénés dans l’acide fluorhydrique. Le groupe Befar a conçu un système de distillation multiple couplé dans la section de distillation, optimisant les composants internes de la colonne et la fenêtre opératoire pour réaliser un retrait profond des impuretés de carbone et d’oxygène sous un gradient de pression spécifique, contrôlant ainsi ces impuretés clés à la source. Parallèlement, face au problème de l’interférence environnementale dans l’analyse du dioxyde de carbone, le groupe Befar a développé de manière autonome un système d’échantillonnage précis et étanche ainsi qu’un schéma d’analyse à haute sensibilité, minimisant l’interférence du bruit de fond environnemental pendant l’échantillonnage, garantissant que les données d’analyse reflètent fidèlement la qualité du produit et assurant la stabilité et la fiabilité de l’indicateur 6N.

La percée du 6N est le fruit d’une recherche technologique systématique dans quatre domaines : le procédé, l’ingénierie, la détection et le remplissage. Côté ingénierie, le groupe Befar a surmonté le contrôle de la précipitation des impuretés liées au choix des matériaux et la technologie de circulation des flux, garantissant un processus de préparation sans contamination. Côté remplissage, il a maîtrisé la technologie de protection et de prétraitement des bouteilles ainsi que le remplacement et l’élimination des impuretés, verrouillant la dernière étape avant l’expédition des produits. Ces quatre aspects technologiques forment une boucle fermée, maintenant la qualité du produit stable au niveau 6N, atteignant ainsi un standard international de pointe.

Actuellement, le prix du marché de l’acide fluorhydrique de haute pureté de qualité 6N dépasse les 2 millions de yuans par tonne. Le groupe Befar a achevé la construction et la mise en service d’une ligne de remplissage de bouteilles d’acide fluorhydrique de haute pureté d’une capacité annuelle de 50 tonnes, obtenu le permis de remplissage de bouteilles de gaz délivré par l’Institut d’inspection spéciale de la province du Shandong, dispose de toutes les procédures complètes de production, de remplissage et de vente, et a déjà commencé à présenter ses produits aux clients clés nationaux et internationaux.