Le constructeur allemand PI lance une platine de mouvement Z-basculement à paliers à air avec une course de 5 mm
2026-06-18 15:14
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fr.wedoany.com Rapport : Allemagne – PI (Physik Instrumente) a lancé une platine de mouvement Z-basculement parallèle haute performance A-523, basée sur la technologie de guidage linéaire à paliers à air. Ce système de positionnement compact à paliers à air est conçu pour des applications exigeantes d’alignement, d’inspection, de métrologie, de semi-conducteurs et de photonique.

Grâce à sa conception à mouvement parallèle, l’A-523 intègre trois degrés de liberté (Z, inclinaison et basculement) dans un ensemble compact. La platine utilise des paliers à air sans frottement, des moteurs linéaires à entraînement direct sans noyau de fer et des codeurs optiques à résolution nanométrique, offrant des performances de positionnement exceptionnelles tout en éliminant l’usure, la maintenance et les effets de rampement associés aux systèmes mécaniques à paliers traditionnels. Le système offre une course en Z de 5 mm, une plage de mouvement d’inclinaison/basculement allant jusqu’à environ 2 degrés, et peut supporter une charge utile allant jusqu’à 8 kg sur une grande platine de 250 mm de diamètre.

Contrairement aux platines mécaniques empilées, l’A-523 adopte une architecture à mouvement parallèle où une seule platine mobile est entraînée par trois moteurs linéaires synchrones. Cette conception réduit la hauteur totale, diminue la masse et l’inertie en mouvement, et élimine l’accumulation d’erreurs géométriques courante dans les systèmes à axes empilés, permettant un mouvement dynamique élevé avec une répétabilité, une précision de positionnement et une stabilité à long terme optimales. La conception sans frottement des paliers à air offre un mouvement fluide, sans jeu, sans hystérésis et sans usure. En l’absence d’éléments roulants ou de surfaces de contact mécaniques, le système convient aux environnements de salle blanche ainsi qu’aux applications exigeant une longue durée de vie et des performances constantes.

L’A-523 est adapté à l’inspection des plaquettes, à la métrologie des semi-conducteurs, à la lithographie sans masque, au positionnement des fibres optiques, à l’alignement optique, à l’inspection des écrans plats et à la fabrication avancée en photonique. Sa capacité d’accélération élevée, sa conception ultra-mince et sa résolution de rétroaction nanométrique prennent en charge à la fois les tâches de positionnement statique et les environnements de production automatisée à haut débit. Pour les applications multi-axes, l’A-523 peut être intégré à des platines à paliers à air planes (comme l’A-311) ou combiné avec la platine à paliers à air A-361 XYθ pour former des systèmes de mouvement compacts à 5 et 6 axes destinés à l’automatisation de précision et à la fabrication avancée.

Les principales caractéristiques de l’A-523 incluent : guidage à paliers à air sans frottement, course en Z de 5 mm, mouvement d’inclinaison/basculement jusqu’à 2 degrés, capacité de charge utile jusqu’à 8 kg, grande platine de 250 mm (10 pouces), conception ultra-mince (seulement 60 mm de hauteur), moteurs linéaires à entraînement direct sans noyau de fer, résolution de codeur de 1 nm, adapté aux opérations en salle blanche, et une platine de mouvement sans usure, sans lubrification et sans entretien. Ce produit élargit la gamme de systèmes de mouvement à paliers à air ultra-précis de PI, offrant aux ingénieurs et aux chercheurs une solution compacte et haute performance pour les applications exigeant une précision, une stabilité, une propreté et des performances dynamiques élevées.

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