fr.wedoany.com Rapport : Le groupe Element a lancé les travaux préparatoires pour l’infrastructure de la première installation industrielle russe de métallisation sous vide par dépôt d’aluminium. Le projet prévoit la construction d’une salle blanche dédiée et d’un système d’ingénierie complet répondant aux exigences de la production microélectronique.
La conception de la salle blanche a été confiée à la société « Solutions Systèmes », pour un montant contractuel de 21 millions de roubles. Cette entreprise a remporté l’appel d’offres de l’Institut de recherche en microélectronique moléculaire (NIIME). Le centre d’essais sera construit à Zelenograd, sur une superficie d’environ 350 mètres carrés. Le ministère russe de l’Industrie et du Commerce a alloué un financement distinct pour le développement de cet équipement, avec un budget d’environ 2 milliards de roubles prévu pour 2026.
L’objectif du projet est de fabriquer un équipement de substitution nationale, en remplacement des produits d’Applied Materials et d’Evatec. Le nouvel équipement sera utilisé pour produire des puces sur des tranches de 200 mm selon des procédés de 180 à 90 nanomètres, permettant de déposer des couches d’aluminium, de titane et de nitrure de titane sans dépendre de systèmes étrangers, pour former des chemins conducteurs et des revêtements de protection.
En raison des exigences strictes de l’équipement en matière d’environnement contrôlé, le projet prévoit plusieurs zones distinctes, notamment la zone de dépôt de métallisation, l’unité de mesure et les locaux techniques. La zone principale doit atteindre une classe de propreté ISO 6, tandis que les zones auxiliaires sont de classe ISO 8.
Dans la salle blanche, des paramètres stricts doivent être maintenus : filtration de l’air jusqu’à des particules de 0,3 micromètre, température contrôlée à 22 ± 2 °C, humidité d’environ 50 %, vibrations ne dépassant pas 6 micromètres par seconde. De plus, il est nécessaire de prévoir un système d’alimentation de secours, une alimentation en gaz ultra-pur, un système de refroidissement, un contrôle des interférences électromagnétiques et une surveillance continue des paramètres environnementaux.
Des sources industrielles indiquent que la construction de salles blanches est l’une des tâches les plus complexes et les plus coûteuses dans le domaine de la microélectronique russe. Depuis les restrictions d’approvisionnement occidentales, certains équipements et composants de ces systèmes doivent encore être importés de l’étranger, principalement de Chine.
Ce projet de salle blanche fait partie du développement d’un équipement de dépôt sous vide à huit modules, équipé de deux manipulateurs robotisés pour le traitement des tranches de silicium. La fabrication de l’équipement devrait être achevée d’ici fin septembre 2030.
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